Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
早川 和延,真空工業の発展とR/D,真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan,05598516,東京 : 日本真空協会,1982-10,25,10,p678-686,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523106605181460352,