著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
松井 重夫,熱加工としての電子ビーム精密微細加工装置の開発に関する研究,電子技術総合研究所研究報告,03669106,つくば : 電子技術総合研究所,1986-10,,873,p1-133,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523106605560828160,