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山中 光之 and 林 豊 and 坂田 功,モノシランのグロー放電分解によるa-Si:Hの成長表面への可視光の照射効果,電子技術総合研究所彙報,03669092,つくば : 電子技術総合研究所,1990-06,54,6,p623-629,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523106605590230400,