著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
韓 民 and 木山 学 and 福田 昭,クラスター成長領域の時空間局所閉じ込めに成功--機能性クラスタープロセス技術の新展開,電総研ニュース = ETL news,0011846X,つくば : 工業技術院電子技術総合研究所,2000-01,,600,4-9,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523106605766159872,