著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
秋丸 尚徳 and 石川 英史 and 榊原 宏和,Development of Fine pitch Negative Tone Resist for Electro-Plating,JSRテクニカルレビュー = JSR technical review,09167129,東京 : JSR広報部,2015-03,,122,8-12,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523106605853744768,