著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) ,エレクトロニクスガスフォーカス 東アジア市場を掴みきった高純度塩素トップ3 : 日韓台中に拡がる液晶パネル向けメタルエッチング用途,ガストロン,,大阪 : ガスレビュー,2013,,36,23-25,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523106606060166528,