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吉本 康志,SDGsに関連した半導体製造装置と地球環境への取り組み(第2回)自社の成長と地球温暖化問題はどうつながっているか,SEAJ journal : 会報,13420224,東京 : 日本半導体製造装置協会,2021-09,,174,29-31,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523106606066554240,