著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
真淵 俊朗 and 縄田 輝彦 and 西島 英一,次世代リソグラフィを実現する新真空紫外域光学材料の開発動向,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2005-09,44,9,34-38,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523388079765268352,