著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,第33回真空に関する連合講演会プロシーディングス,真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan,05598516,東京 : 日本真空協会,1993-03,36,3,p139-390,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523388079801288704,