著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 ウェーハスライシング技術,Electronic journal,,東京 : 電子ジャーナル,2012-03,,216,72-74,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523388080154524160,