著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 半導体工場/電子機器製造工場を支える周辺技術,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2005-08,44,8,17-63,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523388080462904704,