著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
白樫 充彦 and 伊藤 賢也 and 片伯部 一郎,半導体デバイス用ウェーハベベル研磨装置,エバラ時報 = Ebara engineering review,03853004,東京 : 荏原製作所「エバラ時報」編集部,2005-04,,207,39-43,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523388080569798912,