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西澤 潤一 and 倉林 徹,特別講演 ナノ構造シリコンSITの開発,SIデバイスシンポジウム講演論文集,13405853,[厚木] : [SIデバイス研究会],2004,,17,21-27,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523388080628239488,