著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 平田 嘉裕 and 羽賀 剛 and 依田 潤,IC検査用微細プローブの量産技術開発,検査技術,13429825,東京 : 日本工業出版,2006-08,11,8,"21-25,76",https://cir.nii.ac.jp/crid/1523388080716179328,