著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
藤田 忠煕,省エネ型IC製造装置の開発による省エネ,生産と電気 = Production and electricity,02856204,東京 : 日本電気協会,2013-02,65,2,24-30,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523669553298475776,