著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 井野 正三,表面・薄膜物理学 原子テクノロジーの源流(第13章)RHEED励起X線全反射角分光法の開発と応用(2)新しい表面元素深さ分布測定法,金属,03686337,東京 : アグネ技術センター,2013-03,83,3,240-250,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523669554483311488,