著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
田川 精一 and 森 一朗 and 東木 達彦,"technotalk 次世代リソグラフィーの実用化へ向け,進む技術開発",日立評論,03675874,東京 : 日立評論社,2008-04,90,4,20-23,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523669554598416000,