著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
森阪 秀一,半導体製造におけるガスセンサ--ガスセンサの構造・原理と安定稼動における留意点,計測技術,03859886,東京 : 日本工業出版,2007-12,35,13,14-16,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523669554617743488,