著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
渡慶次 学,半導体微細加工技術を用いたガラスチップ製造法,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2005-11,44,11,26-28,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523669554771033600,