著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
柄澤 稔 and 石橋 啓次 and 田中 雅彦,Cat-CVD法実用化のための要素技術開発,アネルバ技報,13422979,府中 (東京都) : アネルバ,2002,9,,11-15,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523669554809244544,