著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 佐藤 海二,精密位置決め装置の動向と高精度化技術,光アライアンス,0917026X,東京 : 日本工業出版,2017-03,28,3,39-44,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523669554880744320,