著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 半導体製造に使われる計測機器・装置,計測技術,03859886,東京 : 日本工業出版,2007-12,35,13,1-16,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523669555343948672,