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小田 康彦,自在計測制御技術 微小液体流量の計測を可能にする熱式液体微小流量計の開発,azbil technical review = azbilテクニカルレビュー : 山武グループ技術研究報告書,18819699,東京 : 山武経営企画部,2019-04,,60,48-52,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523669555511798144,