著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集1 半導体・液晶製造技術,月刊トライボロジー,09146121,東京 : 新樹社,2001-11,15,11,12-24,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523669555535835392,