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丸山 拓之 and 高尾 邦彦 and 矢尾板 達也,散乱光方式による非接触表面粗さ・形状検査事例,光計測シンポジウム論文集,,東京 : 日本光学測定機工業会,2019,,,1-4,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523669555929787008,