著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 進展するMEMS技術--様々なアプリケーションに向けて,光アライアンス,0917026X,東京 : 日本工業出版,2010-08,21,8,1-43,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523951029800638976,