著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
松井 真二,次世代半導体リソグラフィとしてのナノインプリント技術の進展,月刊トライボロジー,09146121,東京 : 新樹社,2015-01,29,1,16-19,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523951029934366208,