著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
滝本 嘉夫,TEGから学ぶ 半導体評価の基礎--配線プロセスを中心に,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2008-06,47,6,89-95,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523951030554149504,