著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
宮本 岩男 and 谷口 淳,ナノ・マイクロ加工のためのドライエッチング技術,機械の研究 = Science of machine,03685713,東京 : 養賢堂,2005-09,57,9,913-922,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523951030649703296,