著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
松野 明,パワーデバイス向けレーザアニール装置,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2007-03,46,3,36-40,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523951030650448768,