著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
曽山 信幸,圧電MEMS用PZTゾルゲル液およびそれを用いた工業用成膜技術の開発,Material stage,13463926,東京 : 技術情報協会,2014-11,14,8,42-44,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523951030841895936,