著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
Alexander E. Braun,次世代測定技術:CD計測は32nm以降に対応,Semiconductor international. 日本版,13496425,東京 : リード・ビジネス・インフォメーション,2008-08,5,8,16-21,https://cir.nii.ac.jp/crid/1523951030877133056,