著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 高谷 裕浩 and 村井 亮太 and 林 照剛,化学修飾ナノダイヤモンドを用いた銅薄膜表面の化学機械研磨,New diamond = ニューダイヤモンド,13404792,東京 : ニューダイヤモンドフォーラム,2014-04,30,2,25-27,https://cir.nii.ac.jp/crid/1524232503261600256,