著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,"誌上見本市 半導体製造装置・材料・周辺機器製品ファイル--半導体デバイスの製造を支える製造装置,材料から周辺機器・部材,工場設備の製品情報が満載",電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2008-08,47,8,9-96,https://cir.nii.ac.jp/crid/1524232504445918592,