著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
水野 文夫,半導体分野の計測技術の最前線,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2006-06,45,6,18-24,https://cir.nii.ac.jp/crid/1524232504879446400,