Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
,特集 MEMSデバイス技術,NTT技術ジャーナル,09152318,東京 : 電気通信協会,2007-07,19,7,6-29,https://cir.nii.ac.jp/crid/1524232504967223168,