著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
飯田 裕,半導体製造プロセスでのプラズマ発光分析終点検知モニタEV140Cの実用例,Readout : Horiba technical reports,09159916,京都 : 堀場製作所,2009-12,,35,62-65,https://cir.nii.ac.jp/crid/1524232505028920704,