Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) 安田 忠弘,層流素子抵抗体の圧力測定を利用した高精度高速応答マスフローモジュールの開発--CRITERION D200シリーズ,Readout : Horiba technical reports,09159916,京都 : 堀場製作所,2010-05,,36,18-21,https://cir.nii.ac.jp/crid/1524232505155260032,