自己組織化によるSiナノ構造のウェーハスケール制御
Bibliographic Information
- Other Title
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- ジコ ソシキカニヨルSi ナノ コウゾウ ノ ウェーハスケール セイギョ
- 特集:半導体自己組織化の表面科学,表面制御
- トクシュウ ハンドウタイ ジコ ソシキカ ノ ヒョウメン カガク ヒョウメン
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Description
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
Journal
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- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
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表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 19 (9), 557-564, 1998-09
東京 : 日本表面科学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1524232505177452160
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- NII Article ID
- 10002265970
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- NII Book ID
- AN00334149
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- ISSN
- 03885321
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- NDL BIB ID
- 4557980
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles