著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
岡本 栄一,半導体製造装置に用いられる精密位置決めテーブルの技術動向,月刊トライボロジー,09146121,東京 : 新樹社,2018-02,32,2,15-17,https://cir.nii.ac.jp/crid/1524232505318918912,