著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 砂賀 芳雄,薄膜太陽電池製造一貫ライン,電子材料,03870774,東京 : 工業調査会,2009-02,48,2,18-23,https://cir.nii.ac.jp/crid/1524232505735062656,