著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
板谷 秀治 and 小川 有人 and 山崎 裕久,高性能DRAMキャパシタ技術の開発,日立国際電気技報,13465953,羽村 : 日立国際電気,2010,,11,11-16,https://cir.nii.ac.jp/crid/1524232505813810816,