著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
山田 裕明 and 金子 浩勝 and 山田 義明 and 太田 敏行,表面拡散モデルを含むアルミスパッタ形状シミュレーションシステムの開発,"電子情報通信学会技術研究報告. VLD, VLSI設計技術",,一般社団法人電子情報通信学会,1996-09-26,96,258,1-5,https://cir.nii.ac.jp/crid/1570009752432026240,