著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
EGAWA M. and IKOMA Hideaki,Effect of Surface Treatments after HF Etching on Oxidation of Si,Jpn. J. Appl. Phys.,,社団法人応用物理学会,1994,33,,943,https://cir.nii.ac.jp/crid/1570009752456022016,