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漆畑 満則 and 古谷 克司 and 毛利 尚武,誘導電荷検出による圧電素子の状態認識 (第3報)位置決め精度の検討,精密工学会大会学術講演会講演論文集,,,1998-03-05,1998,1,711,https://cir.nii.ac.jp/crid/1570291224123220096,