著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 糸賀 和義 and 小林 純 and 大和 雅之 and 岡野 光夫,液晶プロジェクタを用いたマスクレス露光装置によるマイクロパターン作製技術の開発,"電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan",,,2008-09-11,2008,16,1-4,https://cir.nii.ac.jp/crid/1570291225651765504,