著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
KAMIKUBO Takashi,New electron optics for mask writer EBM-7000 to challenge hp 32nm generation,SPIE,,,2008,7122,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1570291225768932608,