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水谷 勝己 and 川野 常夫 and 足立 和俊 and 熊谷 信男,砥石表面トポグラフィー定量化のためのダイヤモンド砥石のシミュレーション,精密工学会大会学術講演会講演論文集,,,1998-03-05,1998,1,288,https://cir.nii.ac.jp/crid/1570572699099912960,