著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
BROTZ J.,Damping in CMOS-MEMS resonators,M.S. Thesis Report (Carnegie Mellon),,,2004,7,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1570572700948513792,