著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
JUNG Min-Ho and BOK Cheol-Kyu and BAIK Ki-Ho,Environmentally stable chemically amplified positive resist containing vinyllactam terpolymers,"電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路",,一般社団法人電子情報通信学会,1997-07-24,97,197,27-37,https://cir.nii.ac.jp/crid/1570572702482756864,